Модульные источники/измерители E5260A, E5262A, E5263A, E5270B
– Серия E5260A: высокоскоростные параметрические измерения, серия E5270B: прецизионные параметрические измерения
– Восемь слотов для установки модулей (E5260A и E5270B): гибкость и возможность модернизации в будущем
– Две фиксированные конфигурации (E5262A, E5263A): экономичные технические решения, которые обеспечивают точное соответствие потребностям измерений
– Поддерживаются программным обеспечением (ПО) EasyEXPERT group+ (для ПК)
Серия E5260A для высокоскоростных измерений
Серия E5260 включает два типа базовых блоков: 8-слотовый и 2-слотовый. Если требуется более двух модулей SMU, либо если нужно предусмотреть возможность расширения, то оптимальным вариантом будет 8-слотовый базовый блок для параметрических измерений E5260В, конфигурируемый пользователем.
Оба базовых блока E5262A и E5263A с двумя модулями источника/ измерителя (SMU) являются экономичными техническими решениями для простых параметрических измерений. Многие измерения компонентов, такие как определение параметров лазерных диодов и фотодиодов, требует только одного или двух модулей источника/ измерителя (SMU). Идеальными вариантами для таких случаев являются E5262A и E5263A, которые предоставляют вполне достаточные возможности для испытаний.
Технические характеристики базовых блоков
| E5260A 8-слотовый базовый блок для высокоскоростных измерений | |
| Число доступных слотов | 8 |
| Ток стока модуля заземления | 4,0 А |
| Интерфейс управления прибором | GPIB |
| Внешние входы/выходы запуска | 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC);
8 программируемых входов/выходов запуска |
| E5262A 2-канальный SMU (MPSMU + MPSMU) | |
| Число слотов | 2-канальная фиксированная конфигурация
(2 х MPSMU) |
| Ток стока модуля заземления | 2,2 А |
| Интерфейс управления прибором | GPIB |
| Внешние входы/выходы запуска | 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC);
8 программируемых входов/выходов запуска |
| E5263A 2-канальный SMU (HPSMU + MPSMU) | |
| Число слотов | 2-канальная фиксированная конфигурация
(HPSMU и MPSMU) |
| Ток стока модуля заземления | 2,2 А |
| Интерфейс управления прибором | GPIB |
| Внешние входы/выходы запуска | 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC);
8 программируемых входов/выходов запуска |
Руководство по выбору модулей источников/ измерителей (SMU)
| Модуль | Высокоскоростной HPSMU (E5290A) | Высокоскоростной MPSMU (E5291A) |
| Требуемое число слотов | 2 | 1 |
| Макс. напряжение источника | ±200 В | ±100 В |
| Макс. сила тока источника | ±1 A | ±100 мA |
| Разрешение при измерении напряжения | 100 мкВ | 100 мкВ |
| Разрешение при измерении силы тока | 5 пA | 5 пA |
Серия E5270B для прецизионных измерений
Анализатор E5270B предлагает гибкое, расширяемое и модернизируемое техническое решение для определения параметров полупроводниковых устройств, обеспечивая разрешение при измерении напряжения 0,5 мкВ, а при измерении силы тока - 0,1 фA. Доступны три типа модулей источников/ измерителей (SMU) для решения различных задач: измерений средней мощности (MPSMU), большой мощности (HPSMU) и с высоким разрешением (HRSMU). Дополнительный модуль коммутатора и измерителя аттоамперных токов (ASU) при совместном использовании с модулем HRSMU обеспечивает разрешение при измерении силы тока 100 aA. Модуль ASU позволяет переключаться между измерениями измерениями вольт-амперных (IV) и вольт-фарадных характеристик (CV) без каких-либо изменений соединений кабелей. Программное обеспечение EasyEXPERT group+ создаёт единую среду для параметрических испытаний с удобным интерфейсом пользователя и может управлять E5270B, используя примеры прикладных программ испытаний. Компания Keysight предоставляет также стандартный VXIplug&play драйвер для создания собственных программ испытаний.
Технические характеристики базового блока
| E5270B 8-слотовый базовый блок для прецизионных измерений | |
| Число доступных слотов | 8 |
| Ток стока модуля заземления | 4,0 А |
| Интерфейс управления прибором | GPIB |
| Внешние входы/выходы запуска | 1 вход запуска (BNC); 1 выход запуска (BNC);
8 программируемых входов/выходов запуска |
Руководство по выбору модулей источников/ измерителей (SMU)
| Модуль | HPSMU (E5280B) | MPSMU (E5281B) | HRSMU (E5287A) | ASU (E5288A) |
| Требуемое число слотов | 2 | 1 | 1 | неприменимо |
| Макс. напряжение источника | ±200 В | ±100 В | ±100 В | ±100 В |
| Макс. сила тока источника | ±1 A | ±100 мA | ±100 мA | ±100 мA |
| Разрешение при измерении напряжения | 2 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ | 0,5 мкВ |
| Разрешение при измерении силы тока | 10 фA | 10 фA | 1 фA | 0,1 фA |